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HMDS真空烤箱 藥水烘箱

簡(jiǎn)要描述:HMDS真空烤箱HMDS預處理系統通過(guò)對烘箱HMDS預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2023-11-20
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1062

詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域醫療衛生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子

HMDS真空烤箱  藥水烘箱產(chǎn)品性能特點(diǎn):

1)設備外殼采用醫用級不銹鋼316L不銹鋼材質(zhì)制作,內膽為不銹鋼316L材料制成;采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內膽外壁,內膽內無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、雙層玻璃觀(guān)察窗,便于觀(guān)察工作室內物品實(shí)驗情況。

2)箱門(mén)閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內保持高真空度。

3) 采用微電腦PID控制,系統具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩定,智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶(hù)根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。

5)HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設計,使真空箱密封性能好,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

6)整個(gè)系統采用優(yōu)質(zhì)醫用級316L不銹鋼材料制作,無(wú)發(fā)塵材料,適用百級光刻間凈化環(huán)境。

HMDS真空烤箱  藥水烘箱的原理:

HMDS預處理系統通過(guò)對烘箱HMDS預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS系列預處理系統的一般工作流程:

首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開(kāi)真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某一高真空度后,開(kāi)始充入氮氣,充到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過(guò)程,到達設定的充入氮氣次數后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。充入氮氣,完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應持續到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應。



 

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